真空蒸着装置-T

真空蒸着装置は、走査型電子顕微鏡などで通電性のない試料を観察するために、前処理として表面に通電性物質をコーティングする装置です。
真空状態にして金属などの物質を加熱・蒸発させ、それが試料に張り付くことで、コーティングします。本装置では主に炭素を使いますが、アルミニュムなどもコーティングできます。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。



概 要
【仕様】

機種 : 日立 HUS-5GB
  専用のカーボン棒を使用

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 : 7188) , kubo_s@gm.
※ : E-mailは末尾に kagoshima-u.ac.jp をつけてください。
機器分析施設連絡先 : TEL/FAX 099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟 6階

【特徴】

真空蒸着装置は、容器内を真空状態にして金属などの物質に熱を加えて蒸発させ、気体にします。
真空中で気体になった金属などの物質の分子が基板にぶつかり、張り付くことで、コーティングをおこないます。

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