超高分解能分析走査型電子顕微鏡 (SU-70)

30万倍までの超高分解能観察が可能な走査型電子顕微鏡で、強磁性体の試料の観察も可能です。
また、エネルギー分散型線分析(EDS)で構成元素や、電子線後方散乱回折(EBSP)で試料の結晶方位に関する情報を得ることができます。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。


磁気テープ上金蒸着試料の測定例
EBSD 分析例

概 要
【仕様】

機種 : 日立ハイテク SU-70
電子光学系
  電子銃 : ショットキーエミッション型電子銃
  分解能 : 1.0nm(加速電圧15kV WD = 4mm), 2.5nm(加速電圧 1kV WD =1.5mm)
  倍率 : 高倍率モード…X100 〜 X800,000, 低倍率モード…X 25 〜 X 2,000
  加速電圧 : 0.1 〜 30 kV (0.1kV step)
元素分析
  検出器 : エネルギー分散型X線検出器(液体窒素レス検出器)EDAX Apollo 40
  検出範囲 : 4Be 〜 95Am
  分析の種類 : 定性分析,定量分析,面分析,線分析,自動多点分析,粒子解析,重複ピークの分離
電子後方散乱回折
  検出器 : OIM結晶方位解析装置 EDAX GE-1
  分析の種類 : プロット(極点図/逆極点図),方位マップ,粒界マップ

【維持管理担当者】

超高分解能分析走査型電子顕微鏡 : 服部 芳郎(内線:8701),hattori@agri.
             ・@          久保 臣悟(内線:7188),kubo_s@jm.kuas.
電子後方散乱回折像解析システム : 久保 臣悟(内線:7188),kubo_s@gm.kuas.
                         ※:E-mailは末尾に kagoshima-u.ac.jp をつけてください。

【設置場所】

理工系総合研究棟 6階

【特徴】

超高分解能観察が可能で、対物レンズモードの切り替えにより磁性体材料の観察分析も出来ます。
また、エネルギー分散型X線分析(EDS),電子線後方散乱回折(EBSP)の分析ができ、試料の構成元素や結晶に関する情報を得ることができます。

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