超高分解能分析走査型電子顕微鏡 (SU-70)

30万倍までの超高分解能観察が可能な走査型電子顕微鏡で、強磁性体の試料の観察も可能です。
また、エネルギー分散型線分析(EDS)で構成元素や、電子線後方散乱回折(EBSP)で試料の結晶方位に関する情報を得ることができます。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。

概　要
【仕様】

機種 ： 日立ハイテク　SU-70
電子光学系
　　電子銃 ： ショットキーエミッション型電子銃
　　分解能 ： 1.0nm(加速電圧15kV WD = 4mm)， 2.5nm(加速電圧 1kV WD =1.5mm)
　　倍率 ： 高倍率モード…X100 〜 X800,000， 低倍率モード…X 25 〜 X 2,000
　　加速電圧 ： 0.1 〜 30 kV (0.1kV step)
元素分析
　　検出器 ： エネルギー分散型X線検出器(液体窒素レス検出器）EDAX Apollo 40
　　検出範囲 ： 4Be 〜 95Am
　　分析の種類 ： 定性分析，定量分析，面分析，線分析，自動多点分析，粒子解析，重複ピークの分離
電子後方散乱回折
　　検出器 ： OIM結晶方位解析装置　EDAX GE-1
　　分析の種類 ： プロット（極点図/逆極点図），方位マップ，粒界マップ

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 ： 7188）

機器分析部門連絡先 ： TEL/FAX　099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟　６階

【特徴】

超高分解能観察が可能で、対物レンズモードの切り替えにより磁性体材料の観察分析も出来ます。
また、エネルギー分散型X線分析(EDS)，電子線後方散乱回折(EBSP)の分析ができ、試料の構成元素や結晶に関する情報を得ることができます。