低真空走査電子顕微鏡−V (ESEM)

高真空に加え、13 〜 133Pa という低真空の雰囲気下で観察できる走査型電子顕微鏡で、絶縁物の観察が可能であると同時に湿潤な試料 (植物,生物等) も前処理なしに観察が可能です。
また、エネルギー分散型検出器 (EDX) により元素分析も可能です。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。



概 要
【仕様】

機種 : 日本FEI Quanta400
電子銃 : タングステン熱電子銃
二次電子分解能 : 1.0〜1.4nm(30kV)
倍率 : 13 〜 1,000,000倍
加速電圧 : 0.2 〜 30kV
試料ステージ : 50mm X 50mm X 25mmH
真空度 : 高真空モード … < 6 × 10 -4 Pa
      低真空モード … 13 〜 133 Pa
観察像 : 二次電子像,後方散乱電子像
元素分析 : エネルギー分散型分析装置 (EDX)
検出範囲 : B 〜 U
分析方法 : 定性分析,定量分析,面分析,多点分析

【維持管理担当者】

服部 芳明 (内線 : 8701) ,hattori@env.agri.
久保 臣悟 (内線 : 7188), kubo_s@gm.
※ : E-mail は末尾に kagoshima-u.ac.jp をつけてください。
機器分析施設連絡先 : TEL/FAX 099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟 6階

【特徴】

通常の高真空雰囲気下での観察に加え、試料室内の真空度を水蒸気により 13 〜 133Pa にコントロールすることによって絶縁物の観察が前処理なしに行えます。
また、エネルギー分散型検出器 (EDX) により元素分析も可能です。

【注意事項】

エネルギー分散型検出器 (EDX) を使用する際は、数時間前に液体窒素 ( 10 〜 15 l ) を補充しておく必要があります。

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