低真空走査電子顕微鏡−U (ESEM)

エネルギー分散型検出器 (EDX) を搭載した汎用型のSEMです。
EDXのX線検出窓にSUTWを使っているため、軽元素の分析に威力を発揮します。
二次電子 (SE像) に加え反射電子 (BSE像) での観察が可能です。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。



概 要
【仕様】

機種 : 日本FEI XL30CP
電子銃 : タングステン熱電子銃
二次電子分解能 : 3.5nm
倍率 : 10 〜 200000倍
加速電圧 : 0.2 〜 30kV
試料ステージ : 50mm X 50mm X 25mmH
真空度 : 3.0 X 10 -4 〜 10 -2 Pa
観察像 : 二次電子像,後方散乱電子像
元素分析 : エネルギー分散型分析装置 (EDX)
検出範囲 : B 〜 U
分析方法 : 定性分析,定量分析,面分析,多点分析

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 : 7188), kubo_s@gm.kuas.
※ : E-mail は末尾に kagoshima-u.ac.jp をつけてください。
機器分析施設連絡先 : TEL/FAX 099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟 6階

【特徴】

エネルギー分散型検出器 (EDX) を搭載した汎用型のSEMです。
EDXのX線検出窓にSUTWを使っているため、軽元素の分析に威力を発揮します。
二次電子 (SE像) に加え反射電子 (BSE像) での観察が可能です。

【注意事項】

エネルギー分散型検出器 (EDX) を使用する際は、数時間前に液体窒素 ( 5 〜 10 l ) を補充しておく必要があります。

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