マグネトロンスパッタ装置

FE-SEM等の高分解能走査型電子顕微鏡で非導電性試料を観察する時の前処理装置です。1nm以下の白金粒子をコーティングします。

初心者の使用時間は、スタッフの勤務時間中とします。

概 要
【仕様】

機種 ： 真空デバイス　MSP-10
ターゲット ： (直径60mm)
試料ステージ ： 直径60mm
ターゲット−試料間隔 ： 20 〜 50mm
真空チェンバーサイズ ： 内径150mm × 深さ80mm
イオン化電圧 ： DC 0 〜 600V
イオン化電流 ： 0 〜 50mA
到達真空度 ： 0.1Pa。 1Pa；3min以内
使用ガス ： Ar

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 ： 7188)

機器分析部門連絡先 ： TEL/FAX　099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟　６階

【特徴】

この装置は、高分解能 (FE-SEM等) で、観察する場合に使用します。非導電性の試料に白金 (Pt : 数Å〜1nm以下) の粒子をコーティングします。また、イオンシャワー等も行えます。