イオンコーター (Au用)

Arガス雰囲気中で、試料表面にAu微粒子 (粒径約15nm) をコーティングする装置です。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。



概 要
【仕様】

機種 : エイコーエンジニアリング IB-2 , FISONS Instruments POLARON SC7610
イオン化電圧 : 1400V DC (連続可変)
イオン化電流 : 10mA (電流計付)
動作真空度 : 0.2 〜 0.05 Torr
真空チャンバー : 130mmφ X 110mmH
上部電極(ターゲット) : 50mmφ
ターゲット : Au
下部電極(試料台) : 52mmφ (水冷可能)
電極間隔 : 25mm ,40mm
使用ガス : Ar

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 : 7188) , kubo_s@gm.
※ : E-mailは末尾に kagoshima-u.ac.jp をつけてください。
機器分析施設連絡先 : TEL/FAX 099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟 6階

【特徴】

ガス雰囲気中でグロー放電によって生じたイオンが金属電極をスパッタリングする作用を利用して試料表面にAu微粒子 (粒径約15nm) をコーティングする装置です。

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