FE-走査電子顕微鏡 (FE-SEM)

高倍率 ( 1 〜 20万倍) の観察を可能にした走査電子顕微鏡で、電界放出 (field emission) 形電子銃を搭載しています。

初心者も自ら分析することはできますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。



概 要
【仕様】

機種 : 日立ハイテク S-4100H
電子光学系
  電子銃 : 冷陰極電界放出形電子銃
  分解能 : 1.6nm (加速電圧 15kV WD = 5mm)
         5.0nm (加速電圧 1kV WD = 5mm)
  倍率 : X20 〜 X500000
  引出電圧 : 0 〜 6.5kV
  加速電圧 : 0.5 〜 30 kV(0.1kV step)

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 : 7188) , kubo_s@gm.
※ : E-mail は末尾に kagoshima-u.ac.jp をつけてください。
機器分析施設連絡先 : TEL/FAX 099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟 6階

【特徴】

電界放出形電子銃を搭載した走査電子顕微鏡です。
汎用型の走査電子顕微鏡に比べて高倍での観察が可能です。

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