FE-走査電子顕微鏡 (FE-SEM)

高倍率 ( 1 〜 20万倍) の観察を可能にした走査電子顕微鏡で、電界放出 (field emission) 形電子銃を搭載しています。

初心者も自ら分析することはできますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。

概 要
【仕様】

機種 ： 日立ハイテク　S-4100H
電子光学系
　　電子銃 ： 冷陰極電界放出形電子銃
　　分解能 ： 1.6nm (加速電圧 15kV WD = 5mm)
　　　　　　　　 5.0nm (加速電圧 1kV WD = 5mm)
　　倍率 ： X20 〜 X500000
　　引出電圧 ： 0 〜 6.5kV
　　加速電圧 ： 0.5 〜 30 kV（0.1kV step）

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 ： 7188)

機器分析部門連絡先 ： TEL/FAX　099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟　６階

【特徴】

電界放出形電子銃を搭載した走査電子顕微鏡です。
汎用型の走査電子顕微鏡に比べて高倍での観察が可能です。