カーボンコータ

本装置は、各種電子顕微鏡で観察する不良導体試料の表面に、導電性カーボン薄膜を作成する装置です。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。



概 要
【仕様】

機種 : 真空デバイス VC-100
蒸発源 : シャープペンシルの替芯
到達真空度 : 0.2Pa (1.5 X 10-3Torr)
蒸発源と試料の間隔 : 60mm 〜 105mm
試料サイズ : 内径100mm 蒸発源に対し45mm上下可能

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 : 7188) , kubo_s@gm.
※ : E-mailは末尾に kagoshima-u.ac.jp をつけてください。
機器分析施設連絡先 : TEL/FAX 099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟 6階

【特徴】

本装置は、透過電子顕微鏡 (TEM) ,走査電子顕微鏡 (SEM) ,X線マイクロアナライザー (EPMA) 等の絶縁物等の観察および分析を行う場合に、試料表面に導電性薄膜の作成を行う装置である。また、切片や支持膜の補強等にも用いる。

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