レーザー顕微鏡

試料表面にレーザー/白色光を照射し、反射した受光量の変化から表面の形状を広い深度範囲 (7mm) にわたって測定する装置です。
３つのスキャン方式により、ナノ,マイクロ,ミリが１台で測定可能です。
また、透明膜やコーティングの厚みも測定できます。

初心者も自ら分析することはできますが、その場合はスタッフの勤務時間中とします。

概 要
【仕様】

機種 ： KEYENCE　VK-X3000

観察倍率　　　　　　　： 〜28800倍(視野拡張あり)
カメラ画素数　　　　　： 560万画素
XY電動ステージ　　　　： 100×100
電動レボルバ
対物レンズ倍率　　　　： ×5，×10，×20，×50，×100
観察照明　　　　　　　： 同軸＋リング
最大サンプル高さ　　　： 約70mm

＜レーザー共焦点方式＞
測定用レーザー光源　　： 波長　661nm ，出力　1mW
測定データ解像度　　　： 2048×1536ピクセル
高さ測定表示分解能　　： 1nm
高さ測定繰返し精度σ　： 20nm
幅測定表示分解能　　　： 1nm
幅測定繰り返し精度3σ ： 50nm

＜フォーカスバリエーション方式＞
測定データ解像度　　　： 2732×2048ピクセル
高さ測定表示分解能　　： 1nm
高さ測定繰返し精度σ　： 30nm
幅測定表示分解能　　　： 1nm
幅測定繰り返し精度3σ ： 65nm

＜白色干渉方式＞
高さ測定表示分解能　　： 0.01nm
幅測定表示分解能　　　： 0.1nm

【維持管理担当者】

大倉 寛一 (内線 ： 7188)

機器分析部門連絡先 ： TEL/FAX　099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟　６階

【特徴】

試料表面にレーザーを照射し、反射したレーザーの受光量の変化から表面の形状を広い深度範囲 (7mm) にわたって測定する装置です。
３つのスキャン方式により、ナノ,マイクロ,ミリが１台で測定可能です。
また、透明膜やコーティングの厚みも測定できます。

【注意事項】

装置を使用する際は、暖機運転のためコントローラおよび本体の電源を1時間以上前にONにしておく必要があります。