走査型プローブ顕微鏡(SPM)/原子間力顕微鏡(AFM)

試料に導電性コーティングなどの前処理が不要で、原子分解能を保有し、高さ，段差，粗さの測定が得意です。
形状観察にとどまらず、電磁気，粘弾性，硬度などの各種物性測定が可能です。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。

装置外観

　　

高さ像　　　　　　　　　　　　　　　MFM像
HDD測定例

概 要
【仕様】

機種 ： 島津製作所　SPM-9700HT
観察モード ： コンタクト，ダイナミック,位相,水平力(LFM),フォースモジュレーション
　　　　　　　電流，I/V，表面電位(KFM)，磁気力(MFM)
分解能 ： X，Y 0.2nm
　　　　　Z　　0.01nm
最大走査範囲(X，Y，Z) ： X，Y 30μm　Z 5μm
試料最大形状 ： φ24mm X 8mm

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 ： 7188）

機器分析部門連絡先 ： TEL/FAX　099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟　６階

【特徴】

試料に導電性コーティングなどの前処理が不要で、原子分解能を保有し、高さ，段差，粗さの測定が得意です。
形状観察にとどまらず、電磁気，粘弾性，硬度などの各種物性測定が可能です。