走査型X線光電子分析装置 (ESCA)

軟X線を照射し、試料の表面から放出される光電子を測定する装置で物質の極表面 (約30Å) の組成元素やその結合状態を知ることができます。
非常に汎用性のある非破壊表面分析装置で、絶縁体を含むあらゆる固体表面の分析に適用できます。 3μm以下の空間分解能を持つイメージ測定 (平面分析) も可能です。


PETのC1sスペクトル例
フッ素系ポリマーのワイドスペクトル例
フッ素系ポリマーのF 1s イメージング例

概 要
【仕様】

機種 : 島津 AXIS-ULTRA DLD
アナライザー : 180°静電二重半球形アナライザー + 球面鏡アナライザー
X線源 : デュアルアノード… Mg/Zrアノード,モノクロメータ…Alアノード
検出範囲 : 3Li 〜 92U
イオン銃 : 使用イオン種 Arイオン,多原子イオン(コロネン)
UV光源 : 波長 He I 585.5Å(21.2eV)
           He II 304Å(40.8eV)
最大試料サイズ : 100mm(X) x 25mm(Y) x 3mm(Z)
分析の種類 : 定性分析,デプス分析
データ処理 : 波形分離,定量計算

【維持管理担当者】

満塩 勝(TEL/FAX:099-285-8342),m-mitsus@apc.
久保 臣悟(TEL/FAX:099-285-7188),kubo_s@gm.
※:E-mailは末尾に kagoshima-u.ac.jp をつけてください。
機器分析施設連絡先 : TEL/FAX 099-285-7188)

【設置場所】

理工系総合研究棟 6階

【特徴】

デュアルアノードX線源,モノクロメータX線源により軟X線を照射し、試料から放出した光電子の結合エネルギーを測定する方法で、物質の極表面 (約30Å) の組成元素やその結合状態を知ることができます。
非常に汎用性のある非破壊表面分析法で、絶縁体を含むあらゆる固体表面の分析に適用できます。
パラレルイメージ測定時は球面鏡アナライザーにより3μm以下の空間分解能を持つ高分解能イメージング測定が可能です。

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