電子線マイクロアナライザ (EPMA)

加速した電子を試料の約1μmの微小部に照射し、そこから発散する特性X線を検出して解析し、構成元素の種類と含有量を測定します。
2種のX線検出システム (EDSとWDS) により、簡便さと精密さの両方を備えた最新機器です。
定性分析と定量分析を、点,線,面で実施します。


玄武岩の面分析例


概 要
【仕様】

機種 : JEOL JXA-8230
X線分光系
  検出器 : 波長分散型X線分析装置 検出範囲 : 5B 〜 92U
  エネルギー分散型X線分析装置 (液体窒素レス検出器) 検出範囲 : 5B 〜 92U
電子光学系
  電子銃 : LaB6 / W 電子銃 併用
  加速電圧 : 0 〜 30.0kV (0.2kV step)
  照射電流 : 2 X 10 -12 A 〜 1 X 10 -5 A (安定度 ±0.15%/h ±0.5%/12h)
  照射プローブ径 : 〜 200μm
  二次電子像分解能 : 5.0nm
  倍率 : X40 〜 X300,000(WD 11.0mm)
光学顕微鏡(OM)系
  倍率 : X約300
最大試料寸法 : 100mm (X) X 100mm (Y) X 50mm (Z)
表示信号 : 二次電子,反射電子,特性X線
分析の種類 : 定性分析,定量分析,線分析,面分析,相分析,カソードルミネッセンス

【維持管理担当者】

大倉 寛一(内線 :7188),ohkura@gm.
※: E-mailは末尾に kagoshima-u.ac.jp をつけてください。
機器分析施設連絡先 : TEL/FAX 099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟 6階

【特徴】

照射電子により試料から発生した特性X線をエネルギー分散型X線分析装置 (EDS) と波長分散型X線分析装置 (WDS) により解析し、試料の構成元素と含有量の測定が可能です。
また、定性分析,定量分析,線分析,面分析のデータから二元・三元散布図を作成し、構成元素の相関を表示することができます。

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