真空蒸着装置-�U

真空蒸着装置は、走査型電子顕微鏡などで通電性のない試料を観察するために、前処理として表面に通電性物質をコーティングする装置です。
真空状態にして金属などの物質を加熱・蒸発させ、それが試料に張り付くことで、コーティングします。本装置では主に炭素を使いますが、アルミニュムなどもコーティングできます。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。

概 要
【仕様】

機種 ： 日立　HUS-5GB
　　専用のカーボン棒を使用

【維持管理担当者】

七村 和彰 (内線 ： 7188)
大倉 寛一 (内線 ： 7188)

機器分析部門連絡先 ： TEL/FAX　099-285-7188

【設置場所】

産学交流プラザ 1階　TEM室

【特徴】

真空蒸着装置は、容器内を真空状態にして金属などの物質に熱を加えて蒸発させ、気体にします。
真空中で気体になった金属などの物質の分子が基板にぶつかり、張り付くことで、コーティングをおこないます。