低真空走査電子顕微鏡−�V (ESEM)

高真空に加え、13 〜 133Pa という低真空の雰囲気下で観察できる走査型電子顕微鏡で、絶縁物の観察が可能であると同時に湿潤な試料 (植物，生物等) も前処理なしに観察が可能です。
また、エネルギー分散型検出器 (EDX) により元素分析も可能です。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。

概 要
【仕様】

機種 ： 日本FEI　Quanta400
電子銃 ： タングステン熱電子銃
二次電子分解能 ： 1.0〜1.4nm（30ｋV)
倍率 ： 13 〜 1,000,000倍
加速電圧 ： 0.2 〜 30kV
試料ステージ ： 50mm X 50mm X 25mmH
真空度 ： 高真空モード … ＜ 6 × 10 ^-4 Pa
　　　　　　低真空モード … 13 〜 133 Pa
観察像 ： 二次電子像，後方散乱電子像
元素分析 ： エネルギー分散型分析装置 (EDX)
検出範囲 ： B 〜 U
分析方法 ： 定性分析，定量分析，面分析，多点分析

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 ： 7188）

機器分析部門連絡先 ： TEL/FAX　099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟　６階

【特徴】

通常の高真空雰囲気下での観察に加え、試料室内の真空度を水蒸気により 13 〜 133Pa にコントロールすることによって絶縁物の観察が前処理なしに行えます。
また、エネルギー分散型検出器 (EDX) により元素分析も可能です。

【注意事項】

エネルギー分散型検出器 (EDX) を使用する際は、数時間前に液体窒素 ( 10 〜 15 l ) を補充しておく必要があります。