低真空走査電子顕微鏡−�U (ESEM)

エネルギー分散型検出器 (EDX) を搭載した汎用型のSEMです。
EDXのX線検出窓にSUTWを使っているため、軽元素の分析に威力を発揮します。
二次電子 (SE像) に加え反射電子 (BSE像) での観察が可能です。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。

概 要
【仕様】

機種 ： 日本FEI　XL30CP
電子銃 ： タングステン熱電子銃
二次電子分解能 ： 3.5nm
倍率 ： 10 〜 200000倍
加速電圧 ： 0.2 〜 30kV
試料ステージ ： 50mm X 50mm X 25mmH
真空度 ： 3.0 X 10 ^-4 〜 10 ^-2 Pa
観察像 ： 二次電子像，後方散乱電子像
元素分析 ： エネルギー分散型分析装置 (EDX)
検出範囲 ： B 〜 U
分析方法 ： 定性分析，定量分析，面分析，多点分析

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 ： 7188）

機器分析部門連絡先 ： TEL/FAX　099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟　６階

【特徴】

エネルギー分散型検出器 (EDX) を搭載した汎用型のSEMです。
EDXのX線検出窓にSUTWを使っているため、軽元素の分析に威力を発揮します。
二次電子 (SE像) に加え反射電子 (BSE像) での観察が可能です。

【注意事項】

エネルギー分散型検出器 (EDX) を使用する際は、数時間前に液体窒素 ( 5 〜 10 l ) を補充しておく必要があります。