レーザー顕微鏡

試料表面にレーザーを照射し、反射したレーザーの受光量の変化から表面の形状を広い深度範囲 (7mm) にわたって測定する装置です。
また、透明膜やコーティングの厚みも測定できます。

初心者も自ら分析することはできますが、その場合はスタッフの勤務時間中とします。

概 要
【仕様】

機種 ： KEYENCE　VK-8500
測定用レーザー光源 ： 波長　685nm ，出力　0.45mW
対物レンズ倍率 ： X10 〜 X100
光学ズーム ： X2 ，X4
デジタルズーム ： X2 ，X3
観察測定範囲 ： 縦　105μm 〜 1109μm ，横　139μm 〜 1479μm
作動距離 ： 0.3 〜 16.5mm
開口数ＮＡ ： 0.3 〜 0.95
高さ測定範囲 ： 7mm
高さ方向最小測定分解能 ： 0.01μm
高さ方向繰返し測定精度σ ： 0.03μm
分析の種類 ： ピーク測定，超深度測定，スライス測定，ラインピーク測定，膜厚測定

【維持管理担当者】

大倉 寛一 (内線 ： 7188) ， ohkura@gm.
※ ： E-mail は末尾に kagoshima-u.ac.jp をつけてください。
機器分析施設連絡先 ： TEL/FAX　099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟　６階

【特徴】

試料表面にレーザーを照射し、反射したレーザーの受光量の変化から表面の形状を広い深度範囲 (7mm) にわたって測定する装置です。
また、透明膜やコーティングの厚みも測定できます。