カーボンコータ

本装置は、各種電子顕微鏡で観察する不良導体試料の表面に、導電性カーボン薄膜を作成する装置です。

初心者も自分で操作できますが、その場合スタッフの勤務時間中とします。

概 要
【仕様】

機種 ： 真空デバイス　VC-100
蒸発源 ： シャープペンシルの替芯
到達真空度 ： 0.2Pa (1.5 X 10^-3Torr)
蒸発源と試料の間隔 ： 60mm 〜 105mm
試料サイズ ： 内径100mm　蒸発源に対し45mm上下可能

【維持管理担当者】

久保 臣悟 (内線 ： 7188)

機器分析部門連絡先 ： TEL/FAX　099-285-7188

【設置場所】

理工系総合研究棟　６階

【特徴】

本装置は、透過電子顕微鏡 (TEM) ，走査電子顕微鏡 (SEM) ，X線マイクロアナライザー (EPMA) 等の絶縁物等の観察および分析を行う場合に、試料表面に導電性薄膜の作成を行う装置である。また、切片や支持膜の補強等にも用いる。