走査型Ｘ線光電子分析装置 (ESCA)

軟X線を照射し、試料の表面から放出される光電子を測定する装置で物質の極表面 (約30Å) の組成元素やその結合状態を知ることができます。
非常に汎用性のある非破壊表面分析装置で、絶縁体を含むあらゆる固体表面の分析に適用できます。 3μm以下の空間分解能を持つイメージ測定 (平面分析) も可能です。

概 要
【仕様】

機種 ： 島津　AXIS-ULTRA DLD
アナライザー ： 180°静電二重半球形アナライザー + 球面鏡アナライザー
X線源 ： デュアルアノード… Mg/Zrアノード，モノクロメータ…Alアノード
検出範囲 ： 3Li 〜 92U
イオン銃 ： 使用イオン種 Arイオン，多原子イオン(コロネン)
UV光源 ： 波長 He I 585.5Å(21.2eV)
　　　　　　　　　　 He II 304Å(40.8eV)
最大試料サイズ ： 100mm(X) x 25mm(Y) x 3mm(Z)
分析の種類 ： 定性分析，デプス分析
データ処理 ： 波形分離，定量計算

【維持管理担当者】

満塩　勝（TEL/FAX：099-285-8342）
久保　臣悟（TEL/FAX：099-285-7188）

機器分析部門連絡先 ： TEL/FAX 099-285-7188)

【設置場所】

理工系総合研究棟　６階

【特徴】

デュアルアノードX線源，モノクロメータX線源により軟X線を照射し、試料から放出した光電子の結合エネルギーを測定する方法で、物質の極表面 (約30Å) の組成元素やその結合状態を知ることができます。
非常に汎用性のある非破壊表面分析法で、絶縁体を含むあらゆる固体表面の分析に適用できます。
パラレルイメージ測定時は球面鏡アナライザーにより3μm以下の空間分解能を持つ高分解能イメージング測定が可能です。