電子線マイクロアナライザ (EPMA)
加速した電子を試料の約1μmの微小部に照射し、そこから発散する特性X線を検出して解析し、構成元素の種類と含有量を測定します。
2種のX線検出システム (EDSとWDS) により、簡便さと精密さの両方を備えた最新機器です。
定性分析と定量分析を、点，線，面で実施します。
玄武岩の面分析例
概 要
【仕様】
機種 ： JEOL JXA-8230
X線分光系
検出器 ： 波長分散型X線分析装置 検出範囲 ： 5B 〜 92U
エネルギー分散型X線分析装置 (液体窒素レス検出器) 検出範囲 ： 5B 〜 92U
電子光学系
電子銃 ： LaB6 / W 電子銃 併用
加速電圧 ： 0 〜 30.0kV (0.2kV step)
照射電流 ： 2 X 10 -12 A 〜 1 X 10 -5 A (安定度 ±0.15%/h ±0.5%/12h)
照射プローブ径 ： 〜 200μm
二次電子像分解能 ： 5.0nm
倍率 ： X40 〜 X300,000（WD 11.0mm）
光学顕微鏡（OM）系
倍率 ： X約300
最大試料寸法 ： 100mm (X) X 100mm (Y) X 50mm (Z)
表示信号 ： 二次電子，反射電子，特性X線
分析の種類 ： 定性分析，定量分析，線分析，面分析，相分析，カソードルミネッセンス
【維持管理担当者】
大倉 寛一（内線 ：7188)
機器分析部門連絡先 ： TEL/FAX 099-285-7188
【設置場所】
理工系総合研究棟 ６階
【特徴】
照射電子により試料から発生した特性X線をエネルギー分散型X線分析装置 (EDS) と波長分散型X線分析装置 (WDS) により解析し、試料の構成元素と含有量の測定が可能です。
また、定性分析，定量分析，線分析，面分析のデータから二元・三元散布図を作成し、構成元素の相関を表示することができます。